Promotion - Daten- und physikbasierte Modellierung von mechanischen Prozessen in der Halbleiterfertigung

Der Digitalisierung und E-Mobilität gehört die Zukunft. Die Robert Bosch GmbH nimmt dabei eine führende Rolle ein, wie z.B. bei der Entwicklung und Fertigung von Halbleiterbauelementen für Sensoren sowie Leistungselektronik. Weil die Anforderungen an die Fertigung von Halbleiterbauelementen immer größer werden, müssen auch die damit verbundenen Wechselwirkungen in den mechanischen Bearbeitungsprozessen beherrscht werden. Wie sich insbesondere unerwünschte qualitative Einschränkungen/Schädigungen durch den mechanischen Bearbeitungsprozess vermeiden lassen, jedoch gleichzeitig eine hohe wirtschaftliche Ausbeute erzielt wird, ist Gegenstand der aktuellen fertigungstechnischen Forschung. Auch unter Nutzung von datenbasierten Methoden, wie dem maschinellen Lernen. Allerdings macht die Komplexität der mechanischen Bearbeitungsprozesse mit deren Variantenvielfalt sowie vielen Unwägbarkeiten und Unsicherheiten eine rein datenbasierte Analyse sowie Optimierung sehr schwierig. Um die Nachteile der datenbasierten Vorhersage zu überwinden, werden Sie an der Entwicklung von sogenannten »hybriden Modellen«, einer Kombination von datenbasierter sowie physikalischer Modellierung, arbeiten und forschen. Diese sollen im Zielzustand als ein Bestandteil von einem digitalen Zwilling in der Analyse, der Optimierung sowie der Überwachung des Bearbeitungsprozesses eingesetzt werden können. Als Teil unseres Teams machen Sie sich am Anfang mit dem tribologischen Gesamtsystem des mechanischen Bearbeitungsprozesses vertraut, arbeiten sich in die physikalische Modellierung ein und gleichen die Ergebnisse mit Messungen ab. Sie lernen den Stand der Technik kennen und arbeiten an den Herausforderungen bei der Erzeugung von hybriden Modellen für mechanische Bearbeitungsprozesse im Rahmen der Halbleiterfertigung. Dabei legen Sie den Fokus auf den Aufbau von Architekturen zur Vereinigung von physikbasiertem Wissen sowie Produktions-/Entwicklungsdaten. Nicht zuletzt arbeiten Sie mit Modellierungs- und Fertigungsprozess-Expertinnen bzw. -Experten zusammen, nehmen an wissenschaftlichen Konferenzen teil und publizieren in hochkarätigen Fachzeitschriften sowie Konferenzen.