Ziel des Praktikums ist die Einführung einer Testroutine zur Defektmessung von ausgewählten Testwafern im Bereich Ionenimplantation. Damit soll die Anlagenverfügbarkeit gesteigert und das Risiko für die Produkte bzgl. Partikelkontamination minimiert werden. Im Rahmen Ihres Praktikums machen Sie sich mit der Ionenimplantation und der Defektmessung vertraut. In Abstimmung mit den Verantwortlichen der Messanlagen ermitteln und erproben Sie geeignete Messrezepte zur Defektmessung der Testwafer. Sie planen Versuche zur Bestimmung der durchschnittlichen Defektniveaus neuer sowie gebrauchter Testwafer und führen diese selbstständig durch. Anhand dieser Daten definieren Sie Spezifikationsgrenzen. Nicht zuletzt richten Sie Routinen ein zur automatisierten Messung der Testwafer.